手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片(晶圆及碎片),并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。还可以设计验证/IC工程,晶圆级可靠性,MEMS,高功率和器件表征和建模。
使用范围
适用于多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 射频(RF)及直流(DC电压、电流、电阻)测试。